承载家国使命 精工铸就品质 科技成就梦想

DR系列MOCVD设备

行星卫星双旋转 + 水平气流
设备机型:
DR600/DR600HT — 12x4"、5x(3x4")、6x6"、8x6"、5x8"
DR700/DR700HT — 15x4"、6x(3x4")、8x6"、9x6"、6x8"
应用材料:InP、 GaAs、 GaN、 SiC系列
CS系列MOCVD设备

近耦合喷淋注入 + 垂直气流
设备机型:
CS150/CS150HT — 6x2"、1x4"、1x6"
CS260/CS260HT — 12x2"、3x4"、1x6"、1x8"
CS300/CS300HT — 19x2"、5x4"、3x6"、1x8"、1x12"
应用领域:激光器、传感器、功率器件、射频器件、 太阳能电池
RH系列MOCVD设备

大气常压生长 + 水平气流
设备机型:
RH100/RH100HT — 3x2"、1x4"
RH150/RH150HT — 7x2"、1x4"、1x6"
应用材料:GaN、AlN系列
应用领域:蓝绿激光器、功率器件、射频器件
C系列MOCVD设备

高速旋转自平衡 + 垂直气流
设备机型:
C300/C300HT — 19x2"、 6x4"、 3x6"、 1x8"、 1x12"
C800/C800HT — 42x4"、 18x6"、 8x8"
应用材料:InP、GaAs、GaN、AlN系列